[发明专利]管式PERC太阳能电池的镀膜设备及镀膜方法

摘要

本发明公开了一种管式PERC太阳能电池的镀膜设备，包括晶片装载区、炉体、特气柜、真空系统、加热系统、控制系统以及石墨舟，所述特气柜设有用于通入硅烷的第一气体管路、用于通入氨气的第二气体管路、用于通入三甲基铝的第三气体管路、用于通入笑气的第四气体管路以及用于通入甲烷的第五气体管路；所述石墨舟用于装卸硅片，所述石墨舟在使用之前或经过多次镀膜之后需经预处理，所述预处理包括：将石墨舟烘干；在烘干后的石墨舟的表面，镀至少一层碳化硅膜。相应的，本发明还公开了一种管式PERC太阳能电池的镀膜方法。采用本发明，简化石墨舟预处理步骤，节省硅片的消耗，并避免对硅片的划伤，提高了电池的EL良率。

主权项

1.一种管式PERC太阳能电池的镀膜方法，其特征在于，包括：(1)将石墨舟放入管式PECVD镀膜设备进行烘干，烘干温度为300‑480℃，时间为10‑60min；(2)烘干出舟后，将石墨舟再次放入管式PECVD镀膜设备，在石墨舟的表面镀至少一层碳化硅膜；(3)把经过处理后的硅片放置在石墨舟上，通过石墨舟送入管式PECVD镀膜设备，在硅片的表面形成背面复合膜，所述背面复合膜包括三氧化二铝膜、二氧化硅膜、氮氧化硅膜和氮化硅膜。