[发明专利]一种透射电子显微镜检测区域的定位方法

摘要

一种透射电子显微镜检测区域的定位方法，其主要是：将标记好的样品放入配有侧插式样品台的透射电子显微镜样品杆，确保样品上标记的直线平行于样品杆的轴向方向。样品检测时，每完成一个检测区域的数据采集工作时，需记录样品杆参数：X、Y、Z、α、β，其中X、Y、Z为正在检测区域的坐标值，α、β为此时样品杆的两个倾转角。对于需要补充数据的检测区域，根据记录的样品杆参数：X、Y、Z、α、β，采用下式计算得出其目前坐标X₀、Y₀:其中X₀、Y₀为再次检测时上次检测区域此时的坐标值，根据X₀、Y₀坐标找到指定区域。本发明不需要添加硬件设备，操作简单，易行；而且计算简单，易于编程实现；可用于透射电子显微镜样品再次检测时定位之前检测的区域。

主权项

1.一种透射电子显微镜检测区域的定位方法，其特征在于：⑴样品进行标记1)所用的透射样品尺寸为φ3mm，而且再次检测的样品无形状和尺寸上的改变，所述透射样品包括：薄膜样品和粉末样品；2)根据1)中不同的样品采用相应的标记方法进行处理；3)在尺寸φ3mm透射样品上做样品标记；⑵样品放入样品杆1)将标记好的样品放入配有侧插式样品台的透射电子显微镜样品杆，确保有标记的样品面在检测时面向透射电子显微镜的样品观察室，即有标记的样品面指向荧光屏或CCD相机；2)确保样品上标记的直线平行于样品杆的轴向方向，使用放大镜辅助，然后将样品杆放入透射电子显微镜进行正常检测工作；⑶样品检测时的记录样品检测时，每完成一个检测区域的数据采集工作时，需记录样品杆参数：X、Y、Z、α、β，其中X、Y、Z为正在检测区域的坐标值，α、β为此时样品杆的两个倾转角；⑷样品重新检测时对上次检测区域的查找对于需要补充数据的检测区域，根据记录的样品杆参数：X、Y、Z、α、β，采用下式计算得出其目前坐标X₀、Y₀:其中X₀、Y₀为再次检测时上次检测区域此时的坐标值，根据X₀、Y₀坐标找到指定区域。