[发明专利]石英玻璃部件及其制备方法有效
| 申请号： | 201710408811.9 | 申请日： | 2017-06-02 |
| 公开（公告）号： | CN107459256B | 公开（公告）日： | 2020-04-10 |
| 发明（设计）人： | 深泽祐司;加藤幸子 | 申请（专利权）人： | 阔斯泰公司 |
| 主分类号： | C03C3/06 | 分类号： | C03C3/06;C03B20/00;C03B25/00;G03F1/60;C03B5/235 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 李志强;鲁炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供真空紫外光的透光性高，并且在室温附近具有4.0×10 |
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| 搜索关键词： | 石英玻璃 部件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
石英玻璃部件，其是用于以真空紫外光作为光源的光刻工序的石英玻璃，其特征在于，氟浓度为1wt%以上且5wt%以下，并且20℃~50℃的热膨胀系数为4.0×10‑7/K以下。
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