[发明专利]石英玻璃部件及其制备方法

权利要求书

1.石英玻璃部件，其是用于以真空紫外光作为光源的光刻工序的石英玻璃，其特征在于，氟浓度为1wt%以上且5wt%以下，并且20℃~50℃的热膨胀系数为4.0×10^-7/K以下。

2.权利要求1的石英玻璃部件，其特征在于，密度为2.16g/cm³以上且2.19g/cm³以下。

3.权利要求1或2的石英玻璃部件，其特征在于，OH基浓度为10ppm以下。

4.权利要求1或2的石英玻璃部件，其特征在于，假想温度为1000℃以下。

5.权利要求1或2的石英玻璃部件，其特征在于，Fe、Cr、Ni、Cu和Ti的浓度分别为1wtppm以下，并且1000℃的温度下的粘度系数为10^14.5dPa·s以下。

6.权利要求1或2的石英玻璃部件，其特征在于，波长为193nm的光的线性透射率为90%以上。

7.低热膨胀石英玻璃的制备方法，其特征在于，准备氟浓度为1wt%以上且5wt%以下的石英玻璃，用加热炉将石英玻璃在1000℃以上且粘度系数为10^14.5dPa·s以下的温度以上、1500℃以下的温度范围内加热，从加热炉取出进行淬火处理(骤冷)，再次在400℃以上、1000℃以下且石英玻璃的粘度系数为10^14.5dPa·s以下的温度范围内进行退火处理。