[发明专利]金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及应用

摘要

本发明提供了一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，其采用含碳化硅、水的制绒预处理液作介质，在超声波作用下对金刚线切割多晶硅片进行超声预处理2‑5min，得到制绒预处理多晶硅片；其中，所述超声处理时的超声频率为20‑100kHz，超声功率为1500‑3000W。所得制绒预处理多晶硅片的表面形成均匀、粗糙的损伤层，损伤层的厚度可与砂浆切割的多晶硅片的相媲美，从而可以采用现有的常规制绒工艺对其进行制绒处理。本发明还提供了一种制绒预处理多晶硅片，以及包含该制绒预处理方法的制绒方法及得到的制绒硅片产品。

主权项

1.一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)将碳化硅粉末分散在水中，得到制绒预处理液，其中，碳化硅在所述制绒预处理液中的质量分数为2‑10％，所述碳化硅的圆度为0.85‑0.95；(2)将金刚线切割多晶硅片放置于装有所述制绒预处理液的容器中，在超声波条件下，进行超声处理2‑5min，得到制绒预处理多晶硅片，其具有厚度为8‑12μm的均匀粗糙的表面损伤层；其中，所述超声处理时的超声频率为20‑100kHz，超声功率为1500‑3000W。