[发明专利]金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法及应用

权利要求书

1.一种金刚线切割多晶硅片的制绒预处理方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将碳化硅粉末分散在水中，得到制绒预处理液，其中，碳化硅在所述制绒预处理液中的质量分数为2-10％，所述碳化硅的圆度为0.85-0.95；

(2)将金刚线切割多晶硅片放置于装有所述制绒预处理液的容器中，在超声波条件下，进行超声处理2-5min，得到制绒预处理多晶硅片，其具有厚度为8-12μm的均匀粗糙的表面损伤层；其中，所述超声处理时的超声频率为20-100kHz，超声功率为1500-3000W。

2.如权利要求1所述的制绒预处理方法，其特征在于，所述制绒预处理液在容器中的液位为2-5cm。

3.如权利要求1所述的制绒预处理方法，其特征在于，所述超声处理时的温度控制在25-60℃。

4.如权利要求1所述的制绒预处理方法，其特征在于，所述碳化硅粉末的目数在400目以上。

5.如权利要求1所述的制绒预处理方法，其特征在于，在进行所述超声处理时，同时采用两种以上不同频率的超声波来进行，其中，所述超声波的频率选自20-100kHz中的任意两种以上。

6.如权利要求5所述的制绒预处理方法，其特征在于，所述超声波的频率分别选自20-40kHz、30-60kHz、50-100kHz频段的三种不同频率。

7.如权利要求1-6任一项所述的制绒预处理方法，其特征在于，所述制绒预处理液中还含有表面活性剂，所述表面活性剂的HLB值为10-20；所述预处理液的表面张力35-72达因/厘米。

8.一种制绒预处理硅片，其特征在于，所述制绒预处理硅片是按权利要求1-7任一项所述的制绒预处理方法制得。

9.一种金刚线切割多晶硅片的制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：

(1)将碳化硅粉末分散在水中，得到制绒预处理液，其中，碳化硅在所述制绒预处理液中的质量分数为2-10％，所述碳化硅的圆度为0.85-0.95；

(2)将金刚线切割多晶硅片放置于装有所述制绒预处理液的容器中，在超声波条件下，进行超声处理2-5min，得到制绒预处理多晶硅片，其具有厚度为8-12μm的均匀粗糙的表面损伤层；其中，所述超声处理时的超声频率为20-100kHz，超声功率为1500-3000W；

(3)将所述制绒预处理多晶硅片进行常规制绒，经水洗、干燥后得到金刚线切割多晶硅片制绒产品。

10.一种采用权利要求9所述的制绒方法制得的金刚线切割多晶硅片制绒产品。