[发明专利]毫米波及太赫兹波直接调制器及其制备方法在审
| 申请号： | 201710368618.7 | 申请日： | 2017-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN107068751A | 公开（公告）日： | 2017-08-18 |
| 发明（设计）人： | 梁士雄;王俊龙;张立森;杨大宝;徐鹏;赵向阳;房玉龙;冯志红 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | H01L29/778 | 分类号： | H01L29/778;H01L21/335 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所13120 | 代理人： | 赵宝琴 |
| 地址： | 050051 *** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种毫米波及太赫兹波直接调制器及其制备方法，属于半导体器件技术领域。本发明包括外延层，在所述外延层上两侧设有欧姆接触，两欧姆接触之间为肖特基接触，在形成的欧姆接触和肖特基接触上用晶片键合的方法粘合石英基片，形成二次衬底。本发明能够降低器件的反射损耗和传输损耗，获得更高调制深度的器件。 | ||
| 搜索关键词： | 毫米 波及 赫兹 直接 调制器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种毫米波及太赫兹波直接调制器，其特征在于，包括外延层，在所述外延层上两侧设有欧姆接触（1），两欧姆接触（1）之间为肖特基接触（2），在形成的欧姆接触（1）和肖特基接触（2）上用晶片键合的方法粘合石英基片，形成二次衬底。
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