[发明专利]一种采用激光清理坩埚口的方法及装置在审
| 申请号： | 201710365165.2 | 申请日： | 2017-05-22 |
| 公开（公告）号： | CN107435132A | 公开（公告）日： | 2017-12-05 |
| 发明（设计）人： | 茆胜 | 申请（专利权）人： | 茆胜 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 深圳市瑞方达知识产权事务所(普通合伙)44314 | 代理人： | 冯小梅,刘洁 |
| 地址： | 广东省深圳市福田区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种采用激光清理坩埚口的方法及装置，其中，方法包括以下步骤包括以下步骤发射低功率激光生成对应的光斑；移动光斑至坩埚口边缘；生成环形光圈；调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径，外圆直径大于坩埚口边缘直径；提高激光功率，进行加热。本发明提供一种采用激光清理坩埚口的方法，该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热，可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料，清理周期短，可避免延误工期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 采用 激光 清理 坩埚 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，包括以下步骤：发射低功率激光并生成对应的光斑；移动光斑至坩埚口边缘；生成环形光圈；调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径，外圆直径大于坩埚口边缘直径；提高激光功率，进行加热。
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