[发明专利]一种采用激光清理坩埚口的方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及坩埚清理技术领域，更具体地说，涉及一种采用激光清理坩埚口的方法及装置。

背景技术

在使用坩埚的蒸发镀膜工艺中，由于坩埚口离加热丝较远，在坩埚口处的温度往往低于坩埚内部，使得在加热蒸发过程中，蒸发料容易在坩埚口处凝结甚至堵塞坩埚口，出现这种情况时，为保证材料蒸镀速率可控，必须终止工艺。

在清理坩埚口附着蒸发料时，现有的技术一般可分为以下两种：1、使用分段加热丝对坩埚上半部分进行升温处理，使结料融化，落入坩埚，但该方式一是清理慢且效果不明显，二是由于加热丝热量也会通过坩埚壁传到蒸发料中，使得材料蒸发速率迅速增加，加快凝结，堵死坩埚口，甚至造成材料喷射和变性；2、打开腔室清理坩埚口，该方式需抽真空、保温，清理周期较长，容易耽误工期。

发明内容

本发明要解决的技术问题在于，针对现有技术的上述现有技术中清理慢且效果不明显、清理周期长的缺陷，提供一种采用激光清理坩埚口的方法，该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热，可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料，清理周期短，可避免延误工期。

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：构造一种采用激光清理坩埚口的方法，包括以下步骤：

发射低功率激光并生成对应的光斑；

移动光斑至坩埚口边缘；

生成环形光圈；

调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径，外圆直径大于坩埚口边缘直径；

提高激光功率，进行加热。

作为本发明的一个优选方案，所述步骤“发射低功率激光并生成对应的光斑”具体为：

发射激光功率低于50W的激光并生成对应的光斑。

作为本发明的一个优选方案，所述步骤“生成环形光圈”具体为：

通过光斑转动生成环形光圈。

作为本发明的一个优选方案，所述步骤“调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径，外圆直径大于坩埚口边缘直径”具体为：

调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径小于等于坩埚口边缘直径，外圆直径比坩埚口边缘直径大于等于0.1-50mm。

作为本发明的一个优选方案，所述步骤“提高激光功率，进行加热”之后还包括：

判断清理效果是否达到预设的要求；

若是，则停止加热；

若否，则继续提高激光功率，直至清理效果达到预设的要求。

同时，本发明实施例还提供了一种采用激光清理坩埚口的装置，包括：

激光件，用于发射激光；

全反射棱镜组件，用于所述激光件发射的激光的射入，且生成环形光圈；

移动件，固定所述激光件，且与所述全反射棱镜组件连接，用于移动所述激光件、所述全反射棱镜组件；

升降机构，一端与所述移动件连接，一端与所述全反射棱镜组件连接，用于上下移动所述全反射棱镜组件。

作为本发明的一个优选方案，

所述全反射棱镜组件设于所述激光件的下端，其包括壳体、全反射棱镜、与全反射棱镜连接的用于驱动所述全反射棱镜转动的旋转件，所述壳体与所述移动件连接，所述旋转件固定在所述壳体上，所述全反射棱镜包括用于所述激光件发射的激光射入的第一侧面、用于全反射射入的激光的第二侧面、用于经过全反射后的激光射出的第三侧面。

作为本发明的一个优选方案，所述旋转件、所述全反射棱镜上分别设有相互啮合的第一齿轮、第二齿轮。

作为本发明的一个有选方案，所述全反射棱镜上设有轴承，所述壳体内壁设有与所述轴承相配合的轴承固定夹。

作为本发明的一个优选方案，所述移动件为机械手。

实施本发明实施例提供的采用激光清理坩埚口的方法，具有以下有益效果：该方法采用激光对坩埚口边缘的有效部位进行快速加热，可以方便、快捷的清理坩埚口附着的蒸发料，清理周期短，可避免延误工期。

附图说明

下面将结合附图及实施例对本发明作进一步说明，附图中：

图1是本发明实施例1中采用激光清理坩埚口的方法的流程示意图；

图2是本发明实施例1中采用激光清理坩埚口的方法的流程示意图；

图3是本发明实施例2中采用激光清理坩埚口的装置的结构示意图；

图4是本发明实施例2中采用激光清理坩埚口的装置的结构示意图。

具体实施方式

实施例1

如图1所示，本实施例提供一种采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，包括以下步骤：