[发明专利]一种采用激光清理坩埚口的方法及装置

权利要求书

1.一种采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，包括以下步骤：

发射低功率激光并生成对应的光斑；

移动光斑至坩埚口边缘；

生成环形光圈；

调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径，外圆直径大于坩埚口边缘直径；

提高激光功率，进行加热。

2.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，所述步骤“发射低功率激光并生成对应的光斑”具体为：

发射激光功率低于50W的激光并生成对应的光斑。

3.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，所述步骤“生成环形光圈”具体为：

通过光斑转动生成环形光圈。

4.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，所述步骤“调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径等于或小于坩埚口边缘直径，外圆直径大于坩埚口边缘直径”具体为：

调整环形光圈的大小，使得环形光圈的内圆直径小于等于坩埚口边缘直径，外圆直径比坩埚口边缘直径大于等于0.1-50mm。

5.如权利要求1所述的采用激光清理坩埚口的方法，其特征在于，所述步骤“提高激光功率，进行加热”之后还包括：

判断清理效果是否达到预设的要求；

若是，则停止加热；

若否，则继续提高激光功率，直至清理效果达到预设的要求。

6.一种采用激光清理坩埚口的装置，其特征在于，包括：

激光件(1)，用于发射激光；

全反射棱镜组件(2)，用于所述激光件(1)发射的激光的射入，且生成环形光圈；

移动件(3)，固定所述激光件(1)，且与所述全反射棱镜组件(2)连接，用于移动所述激光件(1)、所述全反射棱镜组件(2)；

升降机构(4)，一端与所述移动件(3)连接，一端与所述全反射棱镜组件(2)连接，用于上下移动所述全反射棱镜组件(2)。

7.如权利要求6所述的采用激光清理坩埚口的装置，其特征在于，

所述全反射棱镜组件(2)设于所述激光件(1)的下端，其包括壳体(21)、全反射棱镜(22)、与全反射棱镜(22)连接的用于驱动所述全反射棱镜(22)转动的旋转件(23)，所述壳体(21)与所述移动件(3)连接，所述旋转件(23)固定在所述壳体(21)上，所述全反射棱镜(22)包括用于所述激光件(1)发射的激光射入的第一侧面(221)、用于全反射射入的激光的第二侧面(222)、用于经过全反射后的激光射出的第三侧面(223)。

8.如权利要求7所述的采用激光清理坩埚口的装置，其特征在于，所述旋转件(23)、所述全反射棱镜(22)上分别设有相互啮合的第一齿轮(51)、第二齿轮(52)。

9.如权利要求7所述的采用激光清理坩埚口的装置，其特征在于，所述全反射棱镜(22)上设有轴承(224)，所述壳体(21)内壁设有与所述轴承(224)相配合的轴承固定夹(211)。

10.如权利要求6所述的采用激光清理坩埚口的装置，其特征在于，所述移动件(3)为机械手。