[发明专利]一种不间断式进片回片装置及控制方法

摘要

本发明涉及一种不间断式进片回片装置，在底部设置LOAD PORT，从左向右依次为第一LOAD PORT、第二LOAD PORT、第三LOAD PORT和第四LOAD PORT，在第一LOAD PORT和第四LOAD PORT的对应上方分别设置第一缓存区和第二缓存区，用于临时存放FOUP缓存；在第一缓存区和第二缓存区的对应上方分别设置出片区和进片区，用于天车取放FOUP；还包括传送机构，用于在LOAD PORT、缓存区、进片区、出片区之间传递FOUP，设置于与LOAD PORT和缓存区所在平面不同且平行的平面内。本发明采用平面内FOUP交换功能，大大提高空间利用率，节省资源；采用双侧单独内循环方式进行循环，增加FOUP利用率；避免由于多单元换片盒时，片盒都空载等待回片而短时间不能进片的影响，实现无间断连续送片。

主权项

1.一种不间断式进片回片装置，其特征在于：在底部设置LOAD PORT，所述LOAD PORT包括四个，从左向右依次为第一LOAD PORT、第二LOAD PORT、第三LOAD PORT和第四LOAD PORT；在所述第一LOAD PORT和第四LOAD PORT的对应上方分别设置第一缓存区和第二缓存区，用于临时存放FOUP缓存；在所述第一缓存区和第二缓存区的对应上方分别设置出片区和进片区，用于天车取放FOUP；还包括传送机构，用于在LOAD PORT、缓存区、进片区、出片区之间传递FOUP，设置于与LOAD PORT和缓存区所在平面不同且平行的平面内，使传送机构与LOAD PORT、缓存区、进片区、出片区互不影响。