[发明专利]干燥系统和掩膜版上清洗液的干燥方法有效
| 申请号： | 201710347983.X | 申请日： | 2017-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN107120954B | 公开（公告）日： | 2019-05-07 |
| 发明（设计）人： | 林治明;王震;李宝军;尹志;黄俊杰 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;鄂尔多斯市源盛光电有限责任公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B25/00;F26B5/00;F26B21/12 |
| 代理公司： | 北京安信方达知识产权代理有限公司 11262 | 代理人： | 张京波;曲鹏 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种干燥系统和掩膜版上清洗液的干燥方法。干燥系统包括：具有相对的第一侧壁和第二侧壁的干燥腔室；多个第一风刀，设置在第一侧壁和第二侧壁上，用于对清洗后的掩膜版进行吹风干燥；和分离装置，用于在多个第一风刀吹风干燥清洗后的掩膜版时，使空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条相对远离、以增大空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条的间距，使得空间相交区域内更好地进行空气流通，从而实现空间相交区域内的清洗液也一并被吹除掉，避免掩膜版上残留清洗液。 | ||
| 搜索关键词： | 掩膜版 相交区域 清洗液 干燥系统 吹风干燥 第二侧壁 第一侧壁 掩膜条 遮挡条 风刀 清洗 分离装置 干燥腔室 空气流通 支撑 除掉 残留 | ||
【主权项】：
1.一种干燥系统，其特征在于，所述干燥系统包括：具有相对的第一侧壁和第二侧壁的干燥腔室；多个第一风刀，设置在所述第一侧壁和所述第二侧壁上，用于对清洗后的掩膜版进行吹风干燥；和分离装置，用于在所述多个第一风刀吹风干燥清洗后的掩膜版时，使空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条相对远离、以增大空间相交区域处的掩膜条和支撑遮挡条的间距。
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