[发明专利]一种柔性薄膜晶体管及其制备方法在审
| 申请号： | 201710344614.5 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN107204374A | 公开（公告）日： | 2017-09-26 |
| 发明（设计）人： | 刘翔 | 申请（专利权）人： | 深圳市华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L21/336 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供一种柔性薄膜晶体管及其制造方法，包括柔性基底；设置在柔性基底上的无机绝缘层；以及设置在无机绝缘层上的薄膜晶体管；其中，无机绝缘层朝向薄膜晶体管一侧的表面设置有粗糙结构。本发明的柔性薄膜晶体管及其制备方法，通过在柔性基底上设置无机绝缘层，且该无机绝缘层朝向薄膜晶体管一侧的表面设置有粗糙结构，从而使得薄膜晶体管不易与柔性基底分离，进而提高器件的显示水平；并且可以有效提高器件的阻水汽性能。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 薄膜晶体管 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种柔性薄膜晶体管，其特征在于，包括：柔性基底；设置在所述柔性基底上的无机绝缘层；以及设置在所述无机绝缘层上的薄膜晶体管；其中，所述无机绝缘层朝向所述薄膜晶体管一侧的表面设置有粗糙结构。
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