[发明专利]一种提高三氯氢硅选择性的方法在审
| 申请号： | 201710342510.0 | 申请日： | 2017-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN107244675A | 公开（公告）日： | 2017-10-13 |
| 发明（设计）人： | 张明明;殷恒波;王爱丽 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种提高三氯氢硅选择性的方法，步骤如下(1)取工厂废硅粉，把废硅粉放入塑料烧杯中，倒入氢氟酸并进行搅拌，然后进行抽滤、洗涤，最后把滤饼放进真空烘箱中进行烘干；(2)称取步骤1中氢氟酸处理过的废硅粉，装入固定床反应器中，然后把固定床反应器放进管式炉中，通惰性气体进行加热；(3)固定床反应器内温度达到280℃时，通HCl气体开始反应，生成物即主产物三氯氢硅和副产物四氯化硅。本发明的优点在于反应物之一为工业固体废弃物‑废硅粉，大大节约了成本，实现固废资源化。氢氟酸处理大大提高了产物三氯氢硅的选择性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 提高 三氯氢硅 选择性 方法 | ||
【主权项】：
一种提高三氯氢硅选择性的方法，其特征在于，步骤如下：(1)取工厂废硅粉，把废硅粉放入塑料烧杯中，倒入氢氟酸并进行搅拌，然后进行抽滤、洗涤，最后把滤饼放进真空烘箱中进行烘干；(2)称取步骤1中氢氟酸处理过的废硅粉，装入固定床反应器中，然后把固定床反应器放进管式炉中，通惰性气体进行加热；(3)固定床反应器内温度达到280℃时，通HCl气体开始反应，生成物即主产物三氯氢硅和副产物四氯化硅。
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