[发明专利]用于模收缩和高灵敏度的具有锚定件的压力传感器装置在审
| 申请号： | 201710334642.9 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107421663A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | J-H.A.邱;S-H.S.陈 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 申屠伟进,杜荔南 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明公开用于模收缩和高灵敏度的具有锚定件的压力传感器装置。通过减薄膜片并且使所述膜片形成为包括锚定件，增加来自MEMS压力传感器的电压输出跨度和灵敏度并且降低压力非线性，其中所述锚定件不被连接到膜片加劲梁或膜片的加厚区，或者不被接到膜片加劲梁或膜片的加厚区上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 收缩 灵敏度 具有 锚定 压力传感器 装置 | ||
【主权项】：
一种压力感测元件，包括：具有顶部和底部相对侧的第一衬底；形成到第一衬底的底部中的腔体，腔体被设计尺寸和成形以在第一衬底中形成薄膜片，膜片具有大体上平面的顶表面和腔体中的相对底表面，底表面也是大体上平面的；形成到膜片的顶表面中的凹进部，凹进部被设计尺寸和成形以限定四个锚定件，锚定件在凹进部中与彼此间隔开，使得每一个锚定件形成在每一个膜片边缘中心附近；以及形成到每一个锚定件的顶表面中的压敏电阻器。
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