[发明专利]用于模收缩和高灵敏度的具有锚定件的压力传感器装置在审
| 申请号： | 201710334642.9 | 申请日： | 2017-05-12 |
| 公开（公告）号： | CN107421663A | 公开（公告）日： | 2017-12-01 |
| 发明（设计）人： | J-H.A.邱;S-H.S.陈 | 申请（专利权）人： | 大陆汽车系统公司 |
| 主分类号： | G01L1/20 | 分类号： | G01L1/20;G01L9/00 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司72001 | 代理人： | 申屠伟进,杜荔南 |
| 地址： | 美国密*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 收缩 灵敏度 具有 锚定 压力传感器 装置 | ||
1.一种压力感测元件，包括：
具有顶部和底部相对侧的第一衬底；
形成到第一衬底的底部中的腔体，腔体被设计尺寸和成形以在第一衬底中形成薄膜片，膜片具有大体上平面的顶表面和腔体中的相对底表面，底表面也是大体上平面的；
形成到膜片的顶表面中的凹进部，凹进部被设计尺寸和成形以限定四个锚定件，锚定件在凹进部中与彼此间隔开，使得每一个锚定件形成在每一个膜片边缘中心附近；以及
形成到每一个锚定件的顶表面中的压敏电阻器。
2.权利要求1所述的压力感测元件，其中锚定件不被接到膜片加劲物上。
3.权利要求1所述的压力感测元件，其中凹进部是闭合不规则多边形。
4.权利要求1所述的压力感测元件，在这里锚定件是对称的。
5.权利要求1所述的压力感测元件，在这里锚定件是非对称的。
6.权利要求1所述的压力感测元件，在这里压敏电阻器连接到彼此以形成惠斯通电桥。
7.权利要求1所述的压力感测元件，其中膜片具有大约2.0和大约5.0微米之间的厚度，并且其中锚定件具有大约7.0和大约15.0微米之间的不同厚度。
8.权利要求1所述的压力感测元件，还包括附接到第一衬底的底部的第二衬底。
9.权利要求8所述的压力感测元件，其中第二衬底具有孔，所述孔与膜片对准并且配置成朝向膜片的底侧传导流体。
10.权利要求8所述的压力感测元件，还包括覆盖膜片的顶侧并且限定膜片的顶侧上方的腔体的盖。
11.一种压力感测元件，包括：
具有顶部和底部相对侧的第一衬底；
形成到第一衬底的底部中的腔体，腔体被设计尺寸和成形以在第一衬底中形成薄膜片，膜片具有顶表面和腔体中的相对底表面；
形成到膜片的底表面中的凹进部，凹进部被设计尺寸和成形以限定凹进部周围的边缘和四个锚定件，所述四个锚定件从边缘向内并且朝向彼此延伸，锚定件在凹进部中与彼此间隔开，使得每一个锚定件形成在每一个膜片边缘中心附近；以及
形成到每一个锚定件的顶表面中的压敏电阻器。
12.权利要求11所述的压力感测元件，其中锚定件不被接到膜片加劲物上。
13.权利要求11所述的压力感测元件，其中凹进部是闭合多边形。
14.权利要求11所述的压力感测元件，其中锚定件是对称的。
15.权利要求11所述的压力感测元件，其中锚定件是非对称的。
16.权利要求11所述的压力感测元件，其中压敏电阻器连接到彼此以形成惠斯通电桥。
17.权利要求11所述的压力感测元件，其中膜片具有大约2.0和大约5.0微米之间的厚度，并且其中锚定件具有大约7.0和大约15.0微米之间的不同厚度。
18.权利要求11所述的压力感测元件，还包括附接到第一衬底的底部的第二衬底。
19.权利要求18所述的压力感测元件，其中第二衬底具有孔，所述孔与膜片对准并且配置成朝向膜片的底侧传导流体。
20.权利要求19所述的压力感测元件，还包括覆盖膜片的顶侧并且限定膜片的顶侧上方的腔体的盖。
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