[发明专利]一种新型偏振非制冷红外焦平面探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种新型偏振非制冷红外焦平面探测器，包括半导体基座、金属反射层、绝缘介质层、支撑层、保护层、金属电极层、热敏层，所述保护层包括第一保护层和第二保护层，所述第二保护层设置所述热敏层上，所述第二保护层上设有偏振结构，所述偏振结构包括光栅支撑层和设置在所述光栅支撑层上金属光栅结构，采用微桥倒置，微桥下面没有支撑桥墩，结构不容易产生变形；采用了三层微桥结构，第一层为红外辐射吸收结构，第二层为热绝缘微桥结构，第三层为偏振结构，有效提升像素的填充系数及提高入射红外辐射的吸收效率；还涉及一种新型偏振非制冷红外焦平面探测器的制备方法，两层牺牲层可以连续进行蚀刻，晶圆表面非常平整。

主权项

1.一种新型偏振非制冷红外焦平面探测器，其特征在于，包括一包含读出电路的半导体基座和一具有微桥支撑结构的探测器本体，所述探测器本体与所述半导体基座的读出电路形成电连接；其特征在于，所述探测器本体包括金属反射层、绝缘介质层、支撑层、保护层、金属电极层和热敏层，所述支撑层包括第一支撑层和第二支撑层，所述保护层包括第一保护层和第二保护层；所述半导体基座的读出电路上依次设置有金属反射层和绝缘介质层，所述金属反射层包括若干个金属块；所述第一支撑层设置在所述绝缘介质层的上方，所述第一支撑层上方依次设置热敏层、第一保护层和第二支撑层；所述第一保护层和第二支撑层上设有接触孔，所述接触孔的下端终止于所述热敏层，所述接触孔内充满金属电极，所述金属电极与所述热敏层电连接；所述第二支撑层上还设有通孔，所述通孔的下端终止于所述金属块，所述通孔内充满所述金属电极；所述金属电极层上设有第二保护层；所述第二保护层上设有偏振结构，所述偏振结构包括光栅支撑层和设置在所述光栅支撑层上金属光栅结构。