[发明专利]一种在透射电子显微镜下获取环形暗场图像的方法有效

专利信息
申请号: 201710312330.8 申请日: 2017-05-05
公开(公告)号: CN107271461B 公开(公告)日: 2019-09-10
发明(设计)人: 闫志刚;郑春雷;林耀军 申请(专利权)人: 燕山大学
主分类号: G01N23/04 分类号: G01N23/04
代理公司: 秦皇岛一诚知识产权事务所(普通合伙) 13116 代理人: 续京沙
地址: 066004 河北省*** 国省代码: 河北;13
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摘要: 一种在透射电子显微镜下获取环形暗场图像的方法,其所包含以下步骤:首先选取需要拍摄图像的区域,采集多晶电子衍射环;然后选取需要获取环形暗场图像的衍射环,使用透射电子显微镜物镜光阑在此衍射环的半环上进行连续的暗场图像采集;最后将所采集的所有暗场图像使用软件叠加到一张图片上获取环形暗场图像。该方法具有操作简单、成本低且容易实现的优点。
搜索关键词: 一种 透射 电子显微镜 获取 环形 暗场 图像 方法
【主权项】:
1.一种在透射电子显微镜下获取环形暗场图像的方法,其特征在于:包括如下步骤:(1)选区域:将样品放入到透射电子显微镜下,选择需要获取环形暗场图像的区域,调节好放大倍数,并采集此区域明场像;(2)采集多晶衍射环:使用选区光阑采集样品的多晶衍射环,选定需要获取环形暗场图像的衍射环;(3)采集暗场图像:整个暗场图像的采集过程中须保持放大倍数、物镜电流的参数不变,首先使用物镜光阑在步骤(2)选定的衍射环中选取一部分,采集暗场图像;然后使用物镜光阑沿步骤(2)选定的衍射环向下选取一部分衍射环,采集暗场图像;继续沿着衍射环往下选取部分衍射环,采集暗场图像,直至物镜光阑所选取的总长度大于步骤(2)选定衍射环的一半,暗场图像采集完成;(4)组合图像:使用图像软件叠加步骤(3)所采集的所有暗场图片,生成步骤(2)选定的衍射环的环形暗场像。
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