[发明专利]可见光和紫外选择性光电探测器

摘要

本申请提供一种可见光和紫外选择性光电探测器，包括绝缘基板上的紫外探测部分、薄膜晶体管、横向可见光探测部分，合理设计探测器结构，通过将紫外探测部分、可见光探测部分和薄膜晶体管集成在一个衬底上，并且紫外探测的功能层作为薄膜晶体管的沟道层，缩小器件尺寸，优化了器件结构，通过薄膜晶体管实现可见光和紫外探测的选择，同时能够提升探测效率。

主权项

一种可见光和紫外选择性光电探测器，其特征在于，包含：绝缘基板；所述绝缘基板上设置第一电极，所述第一电极设置为薄膜晶体管的栅电极；第一绝缘层，所述第一绝缘层覆盖在第一电极和绝缘基板未被第一电极覆盖的区域上；氧化锌层，所述氧化锌层覆盖在第一绝缘层上，氧化锌层作为紫外探测部分功能层的同时作为薄膜晶体管的沟道层；在所述氧化锌层上形成紫外探测部分的正极和负极、薄膜晶体管的源极和漏极；覆盖在薄膜晶体管上的透明绝缘层，所述透明绝缘层上设置横向可见光探测部分；所述横向可见光探测部分包括两个电极和所述两个电极之间的铜铟镓硒功能层；所述负极与薄膜晶体管的源极或漏极相连，所述横向可见光探测部分的两个电极之中的一个电极与薄膜晶体管的漏极或源极相连。