[发明专利]一种吸气吹气装置及系统在审
| 申请号： | 201710269237.3 | 申请日： | 2017-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN106950730A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | 王浩 | 申请（专利权）人： | 武汉华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/13 | 分类号： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种吸气吹气装置及系统，其包括吸气管和吹气管，所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接，所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体，以使玻璃基板与所述承载平台吸附，所述吹气管用于破除真空，以使玻璃基板与所述承载平台分离，在所述吹气管内还设置有过滤器。本发明的吸气吹气装置及系统，提高了产品的良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸气 吹气 装置 系统 | ||
【主权项】：
一种吸气吹气装置，其特征在于，所述吸气吹气装置用于在显示面板制程中通入真空以将玻璃基板固定在承载平台上，其中所述承载平台上设置有真空孔，所述吸气吹气装置包括：吸气管和吹气管，所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接，所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体，以使玻璃基板与所述承载平台吸附，所述吹气管用于破除真空，以使玻璃基板与所述承载平台分离，在所述吹气管内还设置有过滤器。
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