[发明专利]一种吸气吹气装置及系统

权利要求书

1.一种吸气吹气装置，其特征在于，所述吸气吹气装置用于在显示面板制程中通入真空以将玻璃基板固定在承载平台上，其中所述承载平台上设置有真空孔，所述吸气吹气装置包括：

吸气管和吹气管，所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接，所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体，以使玻璃基板与所述承载平台吸附，所述吹气管用于破除真空，以使玻璃基板与所述承载平台分离，在所述吹气管内还设置有过滤器。

2.根据权利要求1所述的吸气吹气装置，其特征在于，

所述吹气管通过第一电磁气控阀与所述真空孔连接，所述吸气管通过第二电磁气控阀与所述真空孔连接。

3.根据权利要求2所述的吸气吹气装置，其特征在于，

所述吹气管包括起始端，所述过滤器设置在所述第一电磁气控阀与所述吹气管的起始端之间，所述吹气管的起始端为远离所述真空孔的一端。

4.根据权利要求2所述的吸气吹气装置，其特征在于，所述吸气吹气装置还包括：控制单元，所述控制单元用于控制所述第一电磁气控阀和所述第二电磁气控阀的开启和关闭。

5.根据权利要求1所述的吸气吹气装置，其特征在于，所述吸气吹气装置还包括：真空发生器，所述真空发生器与所述吸气管连接。

6.根据权利要求1所述的吸气吹气装置，其特征在于，在所述真空孔靠近所述吸气管和所述吹气管的一端设置有过滤罩。

7.一种吸气吹气系统，其特征在于，包括吸气吹气装置和承载平台；所述吸气吹气装置用于在显示面板制程中通入真空以将玻璃基板吸附在所述承载平台上，其中所述承载平台上设置有真空孔，所述吸气吹气装置包括：

吸气管和吹气管，所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接，所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体，以使玻璃基板与所述承载平台吸附，所述吹气管用于破除真空，以使玻璃基板与所述承载平台分离，在所述吹气管内还设置有过滤器。

8.根据权利要求7所述的吸气吹气系统，其特征在于，

所述吹气管通过第一电磁气控阀与所述真空孔连接，所述吸气管通过第二电磁气控阀与所述真空孔连接。

9.根据权利要求8所述的吸气吹气系统，其特征在于，

所述吹气管包括起始端，所述过滤器设置在所述第一电磁气控阀与所述吹气管的起始端之间，所述吹气管的起始端为远离所述真空孔的一端。

10.根据权利要求7所述的吸气吹气系统，其特征在于，在所述真空孔靠近所述吸气管和所述吹气管的一端设置有过滤罩。