[发明专利]一种吸气吹气装置及系统在审
申请号: | 201710269237.3 | 申请日: | 2017-04-24 |
公开(公告)号: | CN106950730A | 公开(公告)日: | 2017-07-14 |
发明(设计)人: | 王浩 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | G02F1/13 | 分类号: | G02F1/13 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙)44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 吸气 吹气 装置 系统 | ||
【技术领域】
本发明涉及显示器技术领域,特别是涉及一种吸气吹气装置及系统。
【背景技术】
在液晶面板的制程工艺中,往往需要将玻璃基板固定在承载平台上。具体是先将玻璃基板放置在承载平台上,经过对位,再通过真空吸附后将玻璃基板固定在承载平台。当制程完成后,通过吹气破除真空。
如图1所示,现有的吸气吹气装置仅设置一个管道11,用于进行吸气和吹气,也即吸气管道与出气管道为同一管道。在承载平台上设置有真空孔13,该管道11通过阀门12与真空孔13连接。但是当玻璃基板携带有灰尘或坚硬异物在真空孔13附近时,在吸附真空时,气流将灰尘或坚硬异物吸附于该管道11中。随时间累积灰尘或坚硬异物组件增多,在破真空时,管道11中的灰尘或坚硬异物随气流被吹到承载平台上,从而造成玻璃基板品质不良,影响产品良率。
因此,有必要提供一种吸气吹气装置及系统,以解决现有技术所存在的问题。
【发明内容】
本发明的目的在于提供一种吸气吹气装置及系统,能够提高显示效果。
为解决上述技术问题,本发明提供一种吸气吹气装置,所述吸气吹气装置用于在显示面板制程中通入真空以将玻璃基板固定在承载平台上,其中所述承载平台上设置有真空孔,所述吸气吹气装置包括:
吸气管和吹气管,所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接,所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体,以使玻璃基板与所述承载平台吸附,所述吹气管用于破除真空,以使玻璃基板与所述承载平台分离,在所述吹气管内还设置有过滤器。
在本发明的吸气吹气装置中,所述吹气管通过第一电磁气控阀与所述真空孔连接,所述吸气管通过第二电磁气控阀与所述真空孔连接。
在本发明的吸气吹气装置中,所述吹气管包括起始端,所述过滤器设置在所述第一电磁气控阀与所述吹气管的起始端之间,所述吹气管的起始端为远离所述真空孔的一端。
在本发明的吸气吹气装置中,所述吸气吹气装置还包括:控制单元,所述控制单元用于控制所述第一电磁气控阀和所述第二电磁气控阀的开启和关闭。
在本发明的吸气吹气装置中,所述吸气吹气装置还包括:真空发生器,所述真空发生器与所述吸气管连接。
在本发明的吸气吹气装置中,在所述真空孔靠近所述吸气管和所述吹气管的一端设置有过滤罩。
本发明还提供一种吸气吹气系统,其包括吸气吹气装置和承载平台;所述吸气吹气装置用于在显示面板制程中通入真空以将玻璃基板吸附在所述承载平台上,其中所述承载平台上设置有真空孔,所述吸气吹气装置包括:
吸气管和吹气管,所述吸气管和所述吹气管分别与所述真空孔连接,所述吸气管用于向所述真空孔通入真空气体,以使玻璃基板与所述承载平台吸附,所述吹气管用于破除真空,以使玻璃基板与所述承载平台分离,在所述吹气管内还设置有过滤器。
在本发明的吸气吹气系统中,所述吹气管通过第一电磁气控阀与所述真空孔连接,所述吸气管通过第二电磁气控阀与所述真空孔连接。
在本发明的吸气吹气系统中,所述吹气管包括起始端,所述过滤器设置在所述第一电磁气控阀与所述吹气管的起始端之间,所述吹气管的起始端为远离所述真空孔的一端。
在本发明的吸气吹气系统中,在所述真空孔靠近所述吸气管和所述吹气管的一端设置有过滤罩。
本发明的吸气吹气装置及系统,通过设置独立的吸气管和吹气管,并在吹气管中增加过滤器,能够防止管道中的灰尘或坚硬异物进入承载平台上,避免对玻璃基板品质造成影响,提高了产品良率。
【附图说明】
图1为现有的吸气吹气装置的结构示意图。
图2为本发明的吸气吹气装置的第一种结构示意图。
图3为本发明的吸气吹气装置的第二种结构示意图。
图4为本发明的吸气吹气装置的第三种结构示意图。
【具体实施方式】
以下各实施例的说明是参考附加的图式,用以例示本发明可用以实施的特定实施例。本发明所提到的方向用语,例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」等,仅是参考附加图式的方向。因此,使用的方向用语是用以说明及理解本发明,而非用以限制本发明。在图中,结构相似的单元是以相同标号表示。
请参照图2,图2为本发明的吸气吹气装置的结构示意图。
如图2所示,本发明的吸气吹气装置用于在显示面板制程中通入真空以将玻璃基板固定在承载平台上,从而对玻璃基板进行相应地处理。所述承载平台上设置有真空孔30。
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