[发明专利]质谱仪真空接口方法以及设备有效

专利信息
申请号: 201710265943.0 申请日: 2012-12-12
公开(公告)号: CN107068534B 公开(公告)日: 2019-01-08
发明(设计)人: A·A·马卡洛夫;L·洛特曼恩 申请(专利权)人: 塞莫费雪科学(不来梅)有限公司
主分类号: H01J49/06 分类号: H01J49/06
代理公司: 上海专利商标事务所有限公司 31100 代理人: 何焜
地址: 德国*** 国省代码: 德国;DE
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摘要: 本申请公开了质谱仪真空接口方法以及设备。一种操作质谱仪真空接口的方法,该真空接口包括一个截取设备‑优选一个截取锥(133),该截取设备具有一个截取孔(134)和下游离子提取光学器件(150)。一种膨胀的等离子体通过该截取孔进行截取。在该截取设备中,通过提供器件将邻近该截取设备的经截取的等离子体的一部分(142)与剩余的经截取的等离子体(126)分离,以在允许该剩余部分朝该离子提取光学器件膨胀的同时防止、抑制或阻止被分离的部分到达该离子提取光学器件。这允许将从该截取设备表面(135)上的沉积材料释出的离子去除,由此区别这样的离子,并且提供减少的记忆效应。等离子体的剩余部分可以朝向提取光学器件膨胀,于是可以减少或最小化在边界层与等离子体的剩余部分之间的相互作用和混合,由此减少先前沉积的、通向该截取设备下游并进入提取光学器件的离子的数目。
搜索关键词: 截取设备 等离子体 光学器件 截取 真空接口 离子提取 质谱仪 膨胀 离子 沉积材料 记忆效应 离子去除 边界层 截取锥 最小化 释出 沉积 优选 邻近 申请
【主权项】:
1.一种用于操作质谱仪真空接口的方法,所述质谱仪真空接口包括一个具有内表面和截取孔的截取设备和下游的离子提取光学器件,所述方法包括:截取通过所述截取孔的膨胀等离子体,并且通过提供器件在所述截取设备内将邻近所述截取设备的经截取的等离子体部分与剩余的经截取的等离子体分离,以在允许剩余部分朝所述离子提取光学器件膨胀的同时防止被分离的部分到达所述离子提取光学器件,其中所述器件包括由设置在所述截取设备内的形成通道的构件提供的一个或多个通道,并且邻近所述截取设备的经截取的等离子体部分通过使邻近所述截取设备的经截取的等离子体部分转向到所述一个或多个通道中来进行分离,其中剩余的经截取的等离子体朝所述离子提取光学器件膨胀而没有碰到任何直接阻碍。
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