[发明专利]微酸性条件下的碱性玻璃抛光液以及应用在审
申请号: | 201710260794.9 | 申请日: | 2017-04-20 |
公开(公告)号: | CN106883768A | 公开(公告)日: | 2017-06-23 |
发明(设计)人: | 孙韬;李佳铌 | 申请(专利权)人: | 宁波日晟新材料有限公司 |
主分类号: | C09G1/02 | 分类号: | C09G1/02 |
代理公司: | 北京立成智业专利代理事务所(普通合伙)11310 | 代理人: | 吕秀丽 |
地址: | 315410 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种微酸性条件下的碱性玻璃抛光液,其特征在于抛光液的有效成份为稀土氧化物,以及一种有机和/或无机缓冲液,使抛光液保持pH在5‑8之间。该抛光液用于含硅化合物以及其它各种氧化物或半导体或导体、玻璃制品、单晶硅表面、芯片生产的绝缘氧化层的抛光。 | ||
搜索关键词: | 微酸 条件下 碱性 玻璃 抛光 以及 应用 | ||
【主权项】:
微酸性条件下的碱性玻璃抛光液,其特征在于:抛光液的有效成份为稀土氧化物,以及一种有机和/或无机缓冲液,使抛光液保持pH在5‑8之间。
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