[发明专利]微酸性条件下的碱性玻璃抛光液以及应用

权利要求书

1.微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：抛光液的有效成份为稀土氧化物，以及一种有机和/或无机缓冲液，使抛光液保持pH在5-8之间。

2.根据权利要求1中所述的微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：所述抛光液PH在5.5-6.5之间。

3.根据权利要求1中所述的微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：缓冲液占抛光液的总重量的0.001％～10％。

4.根据权利要求1中所述的微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：所述稀土氧化物优选氧化铈。

5.根据权利要求1所述微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：所述无机缓冲液选自无机酸、无机酸盐，优选磷酸、磷酸盐、硼酸、硼酸盐中的一种。

6.根据权利要求1所述微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：所述有机缓冲液选自有机酸、有机羧酸盐，优选有机脂肪酸、有机脂肪酸盐、有机酸聚合物、有机酸聚合物盐、有机磺酸、有机磺酸盐、有机磷酸、有机磷酸盐、氨基酸、氨基酸盐、聚氨基酸、聚氨基酸盐中的一种。

7.根据权利要求1所述微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，其特征在于：抛光液中还含有添加剂，其中添加剂与稀土氧化物的质量比为0.001～0.1︰1；所述添加剂选自有机磷酸盐表面活性剂、有机胺、有机铵盐、醇胺、聚环氧烷醇、聚丙烯酸、聚氨酯中的一种。

8.权利要求1-7中任一所述的微酸性条件下的碱性玻璃抛光液的应用，用于含硅化合物以及其它各种氧化物或半导体或导体、玻璃制品、单晶硅表面、芯片生产的绝缘氧化层的抛光。

9.根据权利要求7所述微酸性条件下的碱性玻璃抛光液的应用，其特征在于：所述玻璃制品包括计算机玻璃硬盘或FPD玻璃或CD或DVD母盘玻璃或光学玻璃制品。