[发明专利]微酸性条件下的碱性玻璃抛光液以及应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种抛光液以及生产工艺，特别是用于加工如玻璃制品的抛光液以及应用。

背景技术

当前玻璃加工企业生产中所使用的抛光液主要是在碱性条件下，以大颗粒氧化铈粉做抛光摩擦剂，表面活性中心少，分散稳定性差，总体抛光速率低，更有甚者，容易导致严重的表面划伤，还存在平化抛光效率低等缺陷。长时间抛光往往大大降低抛光效率，造成抛光机的迅速磨损，生产效率低，以及大量的耗材消费。同时由于目前市场上广泛应用的多为碱性硅酸钠玻璃，采用微酸性玻璃抛光液虽然开始抛光效率非常高，但碱性玻璃在抛光过程中释放碱性硅酸钠，在玻璃稀土抛光液循环使用过程中，导致抛光液pH随抛光时间的延长不断升高，失去抛光效率。

发明内容

本发明目的在于发明一种接近稀土表面零电位，与硅酸盐表面亲和性好，分散稳定性好、平化抛光效率高、抛光表面划伤低，不损伤抛光机的微酸性玻璃抛光液。

技术方案为：

微酸性条件下的碱性玻璃抛光液，有效成份为稀土氧化物，以及一种有机和/或无机缓冲液，使抛光液保持pH在5-8之间。

在其中一些具体实施例中，优选的，所述抛光液PH在5.5-6.5之间。

在其中一些具体实施例中，缓冲液占抛光液的总重量的0.001％～10％。

在其中一些具体实施例中，所述稀土氧化物优选氧化铈。

在其中一些具体实施例中，所述无机缓冲液选自无机酸或无机酸盐，优选磷酸或磷酸盐、硼酸或硼酸盐中的一种。

在其中一些具体实施例中，所述有机缓冲液选自有机酸或有机羧酸盐，优选有机脂肪酸、有机脂肪酸盐、有机酸聚合物、有机酸聚合物盐、有机磺酸、有机磺酸盐、有机磷酸、有机磷酸盐、氨基酸、氨基酸盐、聚氨基酸、聚氨基酸盐中的一种。

为了制成悬浮性能更高的抛光液，在其中一些具体实施例中，抛光液中还含有添加剂，其中添加剂与稀土氧化物的质量比为0.001～0.1︰1；所述添加剂选自有机磷酸盐表面活性剂、有机胺、有机铵盐、醇胺、聚环氧烷醇、聚丙烯酸、聚氨酯中的一种。

本发明产品悬浮性强，不宜沉积，分散稳定性好，抛光效果稳定，表面缺陷低，抛光无划痕，可有效提高平化抛光效率，抛光效率可达893纳米/分钟，且不易造成对抛光机的损伤。

本发明的第二个目的是提供发明产品的应用。

用途之一是：用于含硅化合物以及其它各种氧化物或半导体或导体表面的抛光。

用途之二是：用于玻璃制品表面抛光。

所述玻璃制品包括计算机玻璃硬盘或FPD玻璃或CD或DVD母盘玻璃或光学玻璃制品。

用途之三是：用于芯片生产的绝缘氧化层的抛光。

用途之四是：用于单晶硅的抛光。

本发明的有益效果：

1.本发明引入弱酸/弱酸盐缓冲系统，具体的是无机酸、无机酸盐、有机酸、有机羧酸盐，在玻璃稀土抛光液循环使用过程中，导致抛光液pH可以长期保持在酸性环境中，保持高切削率。

2.抛光液中加入表面活性剂等稳定剂，使抛光液的分散稳定性好、平化抛光效率高、抛光表面划伤低，不损伤抛光机。

3.该抛光液可用于含硅化合物以及其它各种氧化物或半导体或导体、玻璃制品、单晶硅表面、芯片生产的绝缘氧化层的抛光。

具体实施方式

以下结合具体实施例对本发明做进一步详细说明。

实施例一：

1、制备方法：

称取120克市场上购买的金阳含铈混合稀土氧化物，加入4517克水中，室温下搅拌均匀，制成混合稀土氧化物悬浮液。

为保持抛光液最高效率，pH缓冲剂柠檬酸/柠檬酸盐溶液加入到新合成的表面改性混合稀土氧化物悬浮液中，将pH稳定在3.5-6.5。

为了制成悬浮性能更高的抛光液，还可再向硅酸盐改性的混合稀土氧化物悬浮液分别加入38克添加剂，分别制成抛光液样品A、B、C、D，E，F其pH分别为2.5，3.5，4.5，5，5.5，6.5，8，8.5，10.5。

添加剂可以是十二烷基磷酸纳表面活性剂。

2、应用实例：