[发明专利]一种晶硅太阳能电池用液态硼源及其制备方法

摘要

本发明提出了一种适用于旋涂硼扩散制程的聚硼硅氧烷硼源。该硼源以硅烷和硼酸为原料，采用溶胶凝胶法制备，采用的硼源的n(B/Si)＝m，其中0＜m≤0.6。采用的硅烷的化学式为(R1)xSi(OR2)y，其中R1为‑CH3或‑CH2CH3，R3为‑CH3、‑CH2CH3或‑CH(CH3)2，x＝1或2，y＝3或2，且x+y＝4。将硅烷和硼酸的混合溶液在20‑60℃下搅拌1‑3天直至溶液由浑浊变为澄清，所得聚硼硅氧烷液态硼源通过旋涂、烘干和扩散等工艺，可在N型硅片上得到30‑200Ω/□的方块电阻。该硼源的浓度和纯度高，适用于旋涂硼扩散制程。其制备方法简单易行、合成条件温和、材料成本低，适于大规模生产和利用。

主权项

一种液态硼源及其制备方法，其特征在于液态硼源由聚硼硅氧烷和溶剂组成，聚硼硅氧烷的结构如下:其中R1为‑CH3或‑CH2CH3，R2为‑OH、‑CH3或‑CH2CH3。其制备方法是：按一定摩尔比例称取、混合有机硅烷和硼酸，将混合物在20‑60℃搅拌1‑3天。