[发明专利]一种石英舟清洗饱和工艺

摘要

本发明涉及太阳能电池板制造技术领域，尤其为一种石英舟清洗饱和工艺，包括以下步骤1)在石英舟清洗槽内加入配比为31(5‑15)的HF、HCL和纯水的混合物；2)将石英舟放入清洗槽内浸泡清洗；3)采用气体对清洗后的石英舟进行吹干处理；4)将石英舟放入炉管中通过流量稳定的4.5‑5.5slm的N2、1450‑1550sccm的POCL3和350‑400sccmO2进行沉积反应，反应时间为115min‑125min，反应温度为865℃‑875℃；5)沉积结束后，停止POCL3的通入，将N2的流量控制在8.8‑9.2slm，O2的流量控制在950‑1050sccm进行推进处理，处理时间为4.5min‑5.5min，温度控制在870‑880℃；6)推进结束后停止O2的通入，将N2的流量控制在27‑33slm处理时间为2.5min‑3.5min，温度控制在825‑835℃。改变石英舟酸洗配比，减少石英舟在炉管内通POCL3沉积时间，从而提升产能。

主权项

一种石英舟清洗饱和工艺，其特征在于，包括以下步骤：1)在石英舟清洗槽内加入配比为3：1：(5‑15)的HF、HCL和纯水的混合物；2)将石英舟放入清洗槽内浸泡清洗15min‑50min，此过程中用频率为40HZ的超声波进行辅助清洗；3)采用气体对清洗后的石英舟进行吹干处理；4)将石英舟放入炉管中通过流量稳定的4.5‑5.5slm的N2、1450‑1550sccm的POCL3和350‑400sccmO2进行沉积反应，反应时间为115min‑125min，反应温度为865℃‑875℃；5)沉积结束后，停止POCL3的通入，将N2的流量控制在8.8‑9.2slm，O2的流量控制在950‑1050sccm进行推进处理，处理时间为4.5min‑5.5min，温度控制在870‑880℃；6)推进结束后停止O2的通入，将N2的流量控制在27‑33slm,进行冷却，冷却时间为2.5min‑3.5min，温度控制在825‑835℃。