[发明专利]低温泵、真空处理装置

摘要

本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。

主权项

一种低温泵，具有：真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；冷冻机，其以He气为冷媒；极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；其特征在于，前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；前述防振装置具有：第一、第二底板；筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；插入体，其固定在前述第二底板上；弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；前述插入体与前述插入体分离而插入到前述外筒体的内侧，前述插入体与前述外筒体之间配置有前述弹性部件；前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。