[发明专利]低温泵、真空处理装置

权利要求书

1.一种低温泵，具有：

真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；

冷冻机，其以He气为冷媒；

极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；

将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；

其特征在于，

前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；

前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；

前述防振装置具有：

第一底板、第二底板；

筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；

插入体，其固定在前述第二底板上；

弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；

前述外筒体与前述插入体之间、前述外筒体与前述第二底板之间和前述第一底板与前述插入体之间分别分离而形成有间隙，在前述外筒体与前述插入体之间的间隙、前述外筒体与前述第二底板之间的间隙、和前述第一底板与前述插入体之间的间隙中，配置有弹性部件，

前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；

在前述第一底板、前述第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。

2.如权利要求1所述的低温泵，其特征在于，

具有：

马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；

泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；

多个前述防振装置配置在前述马达部侧凸缘与前述泵壳侧凸缘之间，在前述第一底板、前述第二底板中的某一方上固定着前述马达部侧凸缘，在另一方上固定着前述泵壳侧凸缘。

3.一种真空处理装置，具有：

低温泵；

真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；

真空室，其安装着前述真空排气槽；

前述低温泵是以下这样的低温泵：

具有：

冷冻机，其以He气为冷媒；

极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；

该低温泵将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；

前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；

前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；

前述防振装置具有：

第一底板、第二底板；

筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；

插入体，其固定在前述第二底板上；

弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；

前述外筒体与前述插入体之间、前述外筒体与前述第二底板之间和前述第一底板与前述插入体之间分别分离而形成有间隙，在前述外筒体与前述插入体之间的间隙、前述外筒体与前述第二底板之间的间隙、和前述第一底板与前述插入体之间的间隙中，配置有弹性部件，

前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；

在前述第一底板、前述第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。

4.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于，

具有：

马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；

泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；

多个前述防振装置配置在前述马达部侧凸缘与前述泵壳侧凸缘之间，在前述第一底板、前述第二底板中的某一方上固定着前述马达部侧凸缘，在另一方上固定着前述泵壳侧凸缘。

5.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于，

在前述真空室上，具有使处理对象物与荫罩对位的对位装置。

6.如权利要求3所述的真空处理装置，其特征在于，

在前述真空室的内部，设有释放成膜材料的蒸气的蒸发源。

7.如权利要求6所述的真空处理装置，其特征在于，

前述成膜材料是有机物，前述成膜材料的蒸气是前述有机物的蒸气。