[发明专利]低温泵、真空处理装置

说明书

本发明提供一种振动被衰减的低温泵和真空处理装置。支承马达部（23）、冷冻部（24）和低温泵内部零件（35）的重量的马达部侧凸缘（44）借助防振装置（5）固定在泵壳侧凸缘（42）上。泵壳侧凸缘（42）经由泵壳（33）固定在真空室（16）上；由马达部（23）及冷冻部（24）产生的振动被防振装置（5）衰减而传递给真空室（16），所以能够在真空室（16）的内部进行高精度的处理。

技术领域

本发明涉及低温泵和使用低温泵的真空处理装置，特别涉及被要求低振动的低温泵和使用低温泵的真空处理装置。

背景技术

低温泵是在真空容器内设置极低温面、使容器内的气体分子冷凝或吸附在其上而捕捉、进行排气的泵。

作为低温泵的特征，相对于水的排气速度较大，能以简单的操作得到清洁的真空，所以广泛地用在真空蒸镀或溅镀装置等需要高品质的薄膜的真空装置中。

为了得到低温泵的极低温面，使用以He气为冷媒的小型氦冷冻机，主要使用GM冷冻机、索尔韦（ソルベイ）式冷冻机，在冷冻机中安装有马达和使其旋转运动成为直线运动的机械零件，在其末端安装有置换器（displacer），以1Hz或1.2Hz进行活塞运动。在冷冻机上，用挠性软管连接着将He气压缩并供给的压缩机。由于配置在与设置在真空装置上的低温泵分开的位置，所以压缩机的振动不直接传递给真空装置，但由于低温泵直接设置在真空装置上，所以如果冷冻机的机械振动传递给真空装置，则给装置内部的精密作业带来影响。

作为低振动的低温泵，提供一种采用低振动型的马达、或防振型的波纹管等的低温泵。

但是，在真空环境中形成的薄膜图案日益微细化，因此，在进行对准的真空处理装置等中，需要更低的振动，要求不会产生起因于振动的问题的低温泵。

专利文献1：日本特开昭58－183878号公报。

专利文献2：日本特开平5－141348号公报。

专利文献3：日本特开2007－51850号公报。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术的不良状况而做出的发明，其目的是提供一种更低振动的低温泵和使用该低温泵的真空处理装置。

本发明是为了解决上述现有技术的不良状况而做出的发明，本发明是一种低温泵，具有：真空排气槽，其被导入要真空排气的排气对象气体；冷冻机，其以He气为冷媒；极低温板，其设在前述真空排气槽的内部，被冷却后的前述冷冻机冷却为低温；将前述真空排气槽的内部的前述排气对象气体冷凝或吸附在前述极低温板的表面上，对前述排气对象气体进行排气；前述冷冻机经由防振装置固定在前述真空排气槽上；前述极低温板经由前述冷冻机和前述防振装置被前述真空排气槽支承；前述防振装置具有：第一、第二底板；筒形形状的外筒体，其固定在前述第一底板上；插入体，其固定在前述第二底板上；弹性部件，其设在前述第一底板与前述第二底板之间，固定在前述第一底板和前述第二底板上；前述插入体与前述插入体分离而插入到前述外筒体的内侧，前述插入体与前述外筒体之间配置有前述弹性部件；前述插入体的中心轴线和前述外筒体的中心轴线水平地配置；在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述冷冻机，另一方固定在前述真空排气槽上。

此外，本发明是一种低温泵，具有：马达部侧凸缘，其固定在前述冷冻机上；泵壳侧凸缘，其固定在前述真空排气槽上；多个前述防振装置配置在前述马达部侧凸缘与前述泵壳侧凸缘之间，在前述第一、第二底板中的某一方上固定着前述马达部侧凸缘，在另一方上固定着前述泵壳侧凸缘。