[发明专利]一种RIE黑硅的制作方法

摘要

本发明涉及光伏材料技术领域，尤其是一种RIE黑硅的制作方法。该制作方法使用如下配方对硅片进行处理BOEH2O2H2O=125，与硅片反应的温度为40℃，与硅片反应的时间为200秒，H2O，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，HCl乙醇H2O=1118，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，H2O，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，HF，5%，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，H2O，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，本发明能增加对光子的吸收，提高转换效率。同时反应溶液易于集中处理，便于大规模生产。

主权项

一种RIE黑硅的制作方法，其特征是，使用如下配方对硅片进行处理，所有配比均为体积比：BOE:H2O2:H2O=1:2:5，与硅片反应的温度为40℃，与硅片反应的时间为200秒，H2O，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，HCl:乙醇:H2O=1:1:18，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，H2O，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，HF，5%，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒，H2O，与硅片反应的温度为室温，与硅片反应的时间为180秒。