[发明专利]氯硅烷废液的回收方法在审
| 申请号： | 201710237329.3 | 申请日： | 2017-04-12 |
| 公开（公告）号： | CN106927470A | 公开（公告）日： | 2017-07-07 |
| 发明（设计）人： | 蒋国瑜;张升学;汤传斌;严大洲 | 申请（专利权）人： | 中国恩菲工程技术有限公司 |
| 主分类号： | C01B33/107 | 分类号： | C01B33/107 |
| 代理公司： | 北京康信知识产权代理有限责任公司11240 | 代理人： | 韩建伟,谢湘宁 |
| 地址： | 100038*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种氯硅烷废液的回收方法。该回收方法包括将氯硅烷废液进行喷雾干燥，得到气固混合物，氯硅烷废液包括四氯化硅液体、硅粉、氯化铝、氯化铁和氯化钛；及将气固混合物进行气固分离，得到粗氯硅烷气体和固渣。上述回收方法能够在低成本下对氯硅烷废液进行回收，实现了多晶硅的清洁生产，减少了投资成本和氯离子的排放，经济效益显著，环境友好，因而该工艺有优异的经济和环保效益。 | ||
| 搜索关键词： | 硅烷 废液 回收 方法 | ||
【主权项】：
一种氯硅烷废液的回收方法，其特征在于，所述回收方法包括：将所述氯硅烷废液进行喷雾干燥，得到气固混合物，所述氯硅烷废液包括四氯化硅液体、硅粉、氯化铝、氯化铁和氯化钛；及将所述气固混合物进行气固分离，得到粗氯硅烷气体和固渣。
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