[发明专利]氯硅烷废液的回收方法

权利要求书

1.一种氯硅烷废液的回收方法，其特征在于，所述回收方法包括：

将所述氯硅烷废液进行喷雾干燥，得到气固混合物，所述氯硅烷废液包括四氯化硅液体、硅粉、氯化铝、氯化铁和氯化钛；及

将所述气固混合物进行气固分离，得到粗氯硅烷气体和固渣。

2.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述回收方法还包括：

在进行所述喷雾干燥的过程之前，先将所述氯硅烷废液进行蒸发，得到氯硅烷气体和蒸余液；及

将所述蒸余液进行所述喷雾干燥过程，得到所述气固混合物。

3.根据权利要求2所述的回收方法，其特征在于，所述蒸发过程的温度为55～100℃，蒸发表压为0～0.3MPa。

4.根据权利要求2所述的回收方法，其特征在于，所述回收方法还包括：

在进行所述蒸发过程之前，将所述氯硅烷废液与络合剂氯化钠混合后，过滤得到滤液和滤渣；及

将所述滤液进行所述蒸发过程，得到所述氯硅烷气体和所述蒸余液。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的回收方法，其特征在于，所述喷雾干燥过程还包括：

将载气加热至150～250℃，得到加热载气；及

在所述加热载气的作用下进行所述喷雾干燥过程，得到所述气固混合物。

6.根据权利要求5所述的回收方法，其特征在于，所述载气选自氮气。

7.根据权利要求5所述的回收方法，其特征在于，将所述粗氯硅烷气体和所述氯硅烷气体进行冷凝，得到氯硅烷液体。

8.根据权利要求7所述的回收方法，其特征在于，在所述加热载气的作用下进行所述喷雾干燥过程时，所述冷凝过程的产物还包括不凝气，将所述不凝气作为所述载气循环利用。

9.根据权利要求1所述的回收方法，其特征在于，所述气固分离的方法为采用旋风收尘器、过滤式收尘器和电收尘器组成的组中的一种或多种进行所述气固分离。