[发明专利]动态随机存取存储器元件有效

专利信息
申请号: 201710224324.7 申请日: 2017-04-07
公开(公告)号: CN108695325B 公开(公告)日: 2019-08-23
发明(设计)人: 蔡综颖;何建廷;魏铭德;冯立伟;王嫈乔 申请(专利权)人: 联华电子股份有限公司;福建省晋华集成电路有限公司
主分类号: H01L27/108 分类号: H01L27/108
代理公司: 北京市柳沈律师事务所 11105 代理人: 陈小雯
地址: 中国台*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要: 发明公开一种动态随机存取存储器元件,其特征在于包含一基底、二埋入式字线以及一位线接触插塞。基底包含一第一主动区,其中第一主动区沿着一第一方向延伸。埋入式字线设置于基底中且跨设第一主动区,其中二埋入式字线沿着一第二方向延伸。位线接触插塞设置于基底上且重叠二埋入式字线之间的第一主动区,其中一第一边、一第二边、一第三边以及一第四边围绕成位线接触插塞,且第一边平行第三边而沿着一第三方向延伸,第二边平行第四边而沿着一第四方向延伸,其中第一方向平行第三方向且第二方向平行第四方向。
搜索关键词: 埋入式字线 方向延伸 主动区 基底 位线接触 插塞 动态随机存取存储器元件 方向平行 平行 四边 跨设
【主权项】:
1.一种动态随机存取存储器元件,其特征在于包含:基底,包含第一主动区,其中该第一主动区沿着一第一方向延伸;二埋入式字线,设置于该基底中且跨设该第一主动区,其中该二埋入式字线沿着一第二方向延伸;位线接触插塞,设置于该基底上且重叠该二埋入式字线之间的该第一主动区,其中一第一边、一第二边、一第三边以及一第四边围绕成该位线接触插塞,且该第一边平行该第三边而沿着一第三方向延伸,该第二边平行该第四边而沿着一第四方向延伸,其中该第一方向平行该第三方向且该第二方向平行该第四方向,该第一边及该第三边不重叠该第一主动区,因而该位线接触插塞包含一主体部分重叠该第一主动区以及二副翼部分不重叠该第一主动区。
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