[发明专利]一种掩膜板及其制备方法以及蒸镀方法有效
| 申请号： | 201710220563.5 | 申请日： | 2017-04-06 |
| 公开（公告）号： | CN108690949B | 公开（公告）日： | 2020-05-22 |
| 发明（设计）人： | 张秀玉;党鹏乐;张小宝;高美玲;顾宇;朱晖 | 申请（专利权）人： | 昆山工研院新型平板显示技术中心有限公司;昆山国显光电有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京三聚阳光知识产权代理有限公司 11250 | 代理人： | 张杰 |
| 地址： | 215300 江苏省苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及OLED制备工艺技术领域，具体公开了一种掩膜板及其制备方法以及蒸镀方法，所述的掩膜板采用图案化后的光刻胶膜，而传统的掩膜板通常是采用殷瓦合金(INVAR，又称殷钢)材质，通过湿法刻蚀的方法制备而成，不但工艺复杂，而且工艺难度大，并且价格昂贵，本发明采用图案化后的光刻胶膜作为掩膜板，在保证蒸镀效果的同时，大大降低了制造成本，简化了制备工艺；所述的上述掩膜板的制备方法，首先形成光刻胶层，然后通过光刻工艺对形成的光刻胶层进行图案化，制备流程简单，缩短了制备时间，降低了掩膜板的制备成本。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制备 方法 以及 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜板，其特征在于，包括图案化后的光刻胶膜(1)。
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