[发明专利]一种黑磷光调制器及其制备方法

摘要

本发明提供了一种黑磷光调制器，包括黑磷光调制器本体、槽型玻片和盖玻片，槽型玻片包括一凹槽，黑磷光调制器本体容置在所述凹槽中，盖玻片覆盖槽型玻片以密封所述凹槽。本发明提供的黑磷光调制器为黑磷提供了稳定的存储环境，有效地解决黑磷容易被氧化的难题，同时本发明黑磷光调制器的结构不同于传统的脊型波导，缩小了光调制器的尺寸，减小了光调制器的体积。本发明还提供了一种黑磷光调制器的制备方法，包括提供槽型玻片和黑磷光调制器本体，槽型玻片包括一凹槽以及与凹槽邻接的上表面，在凹槽中容置黑磷调制器本体；提供盖玻片，在上表面或盖玻片表面涂覆无影胶，将盖玻片覆盖上表面以密封凹槽，固化后，得到黑磷光调制器。

主权项

一种黑磷光调制器，其特征在于，包括黑磷光调制器本体、槽型玻片和盖玻片，所述槽型玻片包括一凹槽，所述黑磷光调制器本体容置在所述凹槽中，所述盖玻片覆盖所述槽型玻片以密封所述凹槽。