[发明专利]多工位石墨烯快速生长设备

摘要

本发明公开了一种能够将石墨烯生长设备充分利用的多工位石墨烯快速伸长设备，包括安装固定平台、真空泵、气体输送管道、加热装置、石墨烯生长工艺腔；所述石墨烯生长工艺腔具有密封法兰、抽真空口、进气口；所述抽真空口与真空泵连通；所述进气口与气体输送管道连通；所述石墨烯生长工艺腔至少具有两个；所述石墨烯生长工艺腔安装在固定平台上；所述石墨烯生长工艺腔具有工艺腔外管，所述加热装置设置在工艺腔外管的外侧；所述安装固定平台上设置有将加热装置从一个工艺腔外管外侧移动到另一个工艺腔外管外侧的加热装置移动装置。采用该多工位石墨烯快速伸长设备能够减少资源浪费、提高生产效率。

主权项

1.多工位石墨烯快速生长设备，包括安装固定平台(1)、真空泵(3)、气体输送管道(4)、加热装置(5)、石墨烯生长工艺腔(2)；所述石墨烯生长工艺腔(2)具有密封法兰(22)、抽真空口(23)、进气口(24)；所述抽真空口(23)与真空泵(3)连通；所述进气口(24)与气体输送管道(4)连通；其特征在于：所述石墨烯生长工艺腔(2)至少具有两个；所述石墨烯生长工艺腔(2)安装在固定平台(1)上；所述石墨烯生长工艺腔(2)具有工艺腔外管(21)，所述加热装置(5)设置在工艺腔外管(21)的外侧；所述安装固定平台(1)上设置有将加热装置(5)从一个工艺腔外管(21)外侧移动到另一个工艺腔外管(21)外侧的加热装置移动装置(6)；所述石墨烯生长工艺腔(2)在安装固定平台(1)上沿圆周均匀分布；所述石墨烯生长工艺腔(2)竖向安装在安装固定平台(1)上；所述加热装置(5)为加热罩，所述加热装置(5)套装在工艺腔外管(21)上；所述加热装置移动装置(6)包括旋转底座(62)以及伸缩装置(61)；所述旋转底座(62)固定安装在安装固定平台(1)上，所述伸缩装置(61)竖直安装在旋转底座(62)上；所述伸缩装置(61)具有的固定端与旋转底座(62)绕旋转底座(62)的中心线转动配合；所述伸缩装置(61)具有的伸缩端位于加热装置(5)的一侧且与加热装置(5)固定连接；所述石墨烯生长工艺腔(2)具有内管(26)和工艺外管(21)；所述进气口(24)设置在内管(26)底部的中心位置；所述抽真空口(23)设置在内管(26)具有的外圈与工艺外管(21)具有的内圈之间的区域内；所述石墨烯生长工艺腔(2)具有密封法兰(22)的一端的内腔内设置有匀流隔热板(25)。