[发明专利]一种基板吸附机构和基板传输设备在审
| 申请号： | 201710182101.9 | 申请日： | 2017-03-24 |
| 公开（公告）号： | CN106865230A | 公开（公告）日： | 2017-06-20 |
| 发明（设计）人： | 高亚东;于闪闪;李晶晶;李健;徐文结 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司;合肥京东方光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B65G49/06 | 分类号： | B65G49/06 |
| 代理公司： | 北京银龙知识产权代理有限公司11243 | 代理人： | 许静,刘伟 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种基板吸附机构和基板传输设备。其中，基板吸附机构包括基板吸附部、旋转轴、支撑部；旋转轴固定在支撑部上；基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面，第一表面用于吸附基板，基板吸附部固定在旋转轴上，并通过第二表面与支撑部接触，从而能够以支撑部为支点，基于旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。在本发明的方案中，基板吸附部能够以支撑部为支点，基于旋转轴进行以旋转轴的轴线为转动中心的旋转，从而实现了一个翘板结构，即基板一端先与基板吸附部接触时，可以使基板吸附部未接触基板的一侧朝向基板翘起，从而与基板实现接触，保证基板吸附部的吸附面能够充分吸附基板表面，实现更稳固的抓取效果。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 吸附 机构 传输 设备 | ||
【主权项】：
一种基板吸附机构，其特征在于，包括：基板吸附部、旋转轴、支撑部；所述旋转轴固定在所述支撑部上；所述基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面，所述第一表面用于吸附基板，所述基板吸附部固定在所述旋转轴上，并通过所述第二表面与所述支撑部接触，从而能够以所述支撑部为支点，基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。
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