[发明专利]一种基板吸附机构和基板传输设备

权利要求书

1.一种基板吸附机构，其特征在于，包括：

基板吸附部、旋转轴、支撑部；

所述旋转轴固定在所述支撑部上；

所述基板吸附部具有相反朝向的第一表面和第二表面，所述第一表面用于吸附基板，所述基板吸附部固定在所述旋转轴上，并通过所述第二表面与所述支撑部接触，从而能够以所述支撑部为支点，基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。

2.根据权利要求1所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述支撑部具有一弧面支撑面，所述基板吸附部能够通过其第二表面，以所述弧面支撑面的为支点，基于所述旋转轴进行以该旋转轴为转动中心的旋转。

3.根据权利要求2所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述支撑部的弧面支撑面相对所述旋转轴的轴线对称，所述基板吸附部能够通过其第二表面，以所述弧面支撑面的顶点为支点，基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。

4.根据权利要求1所述的基板吸附机构，其特征在于，还包括：

两个固定部，分别固定在所述旋转轴的两端，每一固定部均具有一与所述旋转轴相匹配的过孔，并通过其过孔装配在所述旋转轴上；

所述基板吸附部的两侧通过所述两个固定部固定在所述旋转轴上，从而能够通过该两个固定部与所述旋转轴的轴孔配合，基于所述旋转轴进行以该旋转轴的轴线为转动中心的旋转。

5.根据权利要求3所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述基板吸附部呈平板结构；

两个固定部固定在所述平板结构的中心两侧。

6.根据权利要求1所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述支撑部设置有与所述旋转轴相匹配的过孔，所述旋转轴装配在所述支撑部的过孔内。

7.根据权利要求1所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述第一表面均匀设置有至少一个用于吸附基板的吸盘。

8.根据权利要求7所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述吸盘为多个，且相对所述旋转轴的轴线对称。

9.根据权利要求7所述的基板吸附机构，其特征在于，

所述吸盘由弹性材料制成。

10.一种基板传输设备，其特征在于，包括有如权利要求1-9任一项所述的基板吸附机构。