[发明专利]一种涂布模头高度的精确控制方法在审
| 申请号： | 201710171645.5 | 申请日： | 2017-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN108620287A | 公开（公告）日： | 2018-10-09 |
| 发明（设计）人： | 冯宗宝;欧阳俊波;张海銮;程园园;章婷;刘德昂;曲亚东;钱磊;张德龙 | 申请（专利权）人： | 苏州威格尔纳米科技有限公司 |
| 主分类号： | B05C11/02 | 分类号： | B05C11/02;B05C11/10 |
| 代理公司： | 苏州华博知识产权代理有限公司 32232 | 代理人： | 孟宏伟 |
| 地址： | 215000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种涂布模头高度的精确控制方法，在涂布过程中，直接利用距离测量仪测定涂布模头到涂布平面的距离，并通过闭环控制完成涂布模头的实时调整，这样可以大大减少因为涂布模头高度位置变化而造成涂布薄膜的影响，以得到厚度均匀一致的高质量薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 涂布模头 高质量薄膜 距离测量仪 闭环控制 高度位置 厚度均匀 实时调整 涂布薄膜 涂布过程 涂布平面 | ||
【主权项】：
1.一种涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：包括以下步骤：步骤1：设置模头高度调节机构，用以调整涂布模头的高度位置；在涂布模头或涂布平台上设置距离测量仪，用以测量涂布模头与涂布平台的绝对距离；步骤2：根据应用环境设定一预设高度值、一预设偏差值；步骤3：距离测量仪测定涂布模头与涂布平台的距离；步骤4：将预设高度值与距离进行比较，并根据预设高度值通过模头高度调节机构调整涂布模头的高度；步骤5：距离测量仪实时测定涂布模头与涂布平台的距离；步骤6：根据预设高度值及预设偏差值得到高度值范围，当实时测定的距离偏移高度值范围时，实施涂布模头高度向预设高度范围的闭环调整。
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