[发明专利]一种涂布模头高度的精确控制方法

权利要求书

1.一种涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：包括以下步骤：

步骤1：设置模头高度调节机构，用以调整涂布模头的高度位置；在涂布模头或涂布平台上设置距离测量仪，用以测量涂布模头与涂布平台的绝对距离；

步骤2：根据应用环境设定一预设高度值、一预设偏差值；

步骤3：距离测量仪测定涂布模头与涂布平台的距离；

步骤4：将预设高度值与距离进行比较，并根据预设高度值通过模头高度调节机构调整涂布模头的高度；

步骤5：距离测量仪实时测定涂布模头与涂布平台的距离；

步骤6：根据预设高度值及预设偏差值得到高度值范围，当实时测定的距离偏移高度值范围时，实施涂布模头高度向预设高度范围的闭环调整。

2.根据权利要求1所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：步骤1中，所述模头高度调节机构包括两个伺服电机，可以分别调节模头两端的高度；所述距离测量仪为两个，分别设置在涂布模头或涂布平台的两侧。

3.根据权利要求2所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：所述距离测量仪设置在涂布平台的两侧，倒置在所述涂布模头的下方。

4.根据权利要求2所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：所述距离测量仪经固定支架设置在所述涂布模头的侧方。

5.根据权利要求2所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：还包括涂布模头两端高度差的调节步骤：

步骤7：设定一预设对比差值，计算涂布模头两端实时高度差值，当超出预设对比差值时，实施涂布模头高度向预设高度范围的调整。

6.根据权利要求4所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：步骤1与步骤2间还包括涂布平台的水平校正的步骤：

步骤1.1：设置一大理石基准平台，设定一校准高度值，所述距离测量仪测定涂布模头两端到所述大理石基准平台的高度，模头高度调节机构根据校准高度值调整涂布模头两端至相同高度；

步骤1.2：移动所述涂布平台，所述距离测量仪测定涂布模头两端到所述涂布平台的距离，根据涂布平台两端的距离差调节涂布平台的高度。

7.根据权利要求6所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：还包括根据实际膜厚进行预设高度值补偿的步骤：

步骤8：设置一膜厚测定仪，测定涂布完成的薄膜厚度，与薄膜预想厚度进行对比，得到补偿值，根据补偿值来修正涂布模头的预设高度值。

8.根据权利要求7所述的涂布模头高度的精确控制方法，其特征是：步骤8中包括设置一个用于确认并将补偿值输入控制系统的控件。