[发明专利]一种快速退火减薄黑磷的方法在审

专利信息
申请号: 201710163992.3 申请日: 2017-03-17
公开(公告)号: CN108622867A 公开(公告)日: 2018-10-09
发明(设计)人: 刘晶;范双青 申请(专利权)人: 天津大学
主分类号: C01B25/02 分类号: C01B25/02;B82Y40/00
代理公司: 天津创智天诚知识产权代理事务所(普通合伙) 12214 代理人: 王秀奎
地址: 300072*** 国省代码: 天津;12
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摘要: 发明提供一种快速退火减薄黑磷的方法,包括以下步骤:(1)将块状黑磷分解成片状黑磷;(2)将步骤(1)所得片状黑磷放入快速退火炉,于290‑350℃氧气条件下退火30s‑10min,再在氮气条件下退火1min。本发明的有益效果是操作流程简单,工艺成本低廉,得到的二维材料黑磷具有完整的晶格结构和平整、干净的表面。
搜索关键词: 黑磷 退火 快速退火 减薄 快速退火炉 操作流程 氮气条件 二维材料 工艺成本 晶格结构 氧气条件 成片状 放入 平整 分解
【主权项】:
1.一种快速退火减薄黑磷的方法,其特征在于:包括以下步骤:所得片状黑磷放入快速退火炉,于290‑350℃氧气条件下退火30s‑10min,再在氮气条件下退火30s‑10min。
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