[发明专利]一种多孔氮化镓单晶材料、其制备方法及应用在审
| 申请号： | 201710146131.4 | 申请日： | 2017-03-13 |
| 公开（公告）号： | CN108570709A | 公开（公告）日： | 2018-09-25 |
| 发明（设计）人： | 陈晨龙;谢奎 | 申请（专利权）人： | 中国科学院福建物质结构研究所 |
| 主分类号： | C30B29/40 | 分类号： | C30B29/40;C30B29/60;C30B1/10 |
| 代理公司： | 北京元周律知识产权代理有限公司 11540 | 代理人： | 张莹 |
| 地址： | 350002 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种多孔氮化镓单晶材料，其特征在于，所述多孔氮化镓单晶材料中含有孔径为10nm～2000nm的孔。该材料具有自支撑结构，为块状单晶时，作为氮化镓基器件的外延衬底，可以起到应力释放和差排消解的作用，比无孔氮化镓单晶衬底相较更具优势。此外，该晶体材料还可为3D光电器件提供优质的模板。 | ||
| 搜索关键词： | 多孔氮化镓 单晶材料 衬底 氮化镓基器件 氮化镓单晶 自支撑结构 光电器件 晶体材料 块状单晶 应力释放 无孔 制备 消解 申请 应用 | ||
【主权项】：
1.一种多孔氮化镓单晶材料，其特征在于，所述多孔氮化镓单晶材料中含有孔径为10nm～2000nm的孔。
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