[发明专利]使用杂基加热器的光环形谐振器制造后微调的装置和方法

摘要

本发明提供了一种使用杂基加热器的光环形谐振器制造后微调的装置和方法。可以使用在光环形谐振器延伸的光学板中的加热器来加热装置处的光学环形谐振器，所述的加热器包括非均匀分布的掺杂剂；控制器确定所述光环形谐振器的初始谐振频率；所述的控制器使用所述电气连接件对所述加热器应用所述预定电气参数的对应子集，由于加热器中掺杂剂的迁移，将所述光环形谐振器的谐振频率从初始谐振频率偏移到目标谐振频率。

主权项

一种装置，其特征在于，所述的装置包括：包含绝缘体结构上的半导体的衬底，在所述绝缘体上的光学板，所述光学板由所述半导体形成，光输入，光输出，以及在两者之间的至少一个光总线，和耦合到所述至少一个光总线并从所述光学板延伸的光环形谐振器，在所述光学板上和所述光环形谐振器的至少一部分内的加热器，所述加热器在所述光环形谐振器的至少一内径和一外径之间延伸，所述的加热器包含了在所述半导体中具有非均匀分布的掺杂剂；连接至所述加热器的电气连接件；存储器，存储所述加热器的预定电气参数，当其应用于所述加热器时，将导致所述加热器中的所述掺杂剂相对于所述光环形谐振器扩散，由于各个光环状谐振器内的掺杂剂的浓度改变而引起所述光环形谐振器的谐振的偏移，所述预定电气参数存储为加热期间光环形谐振器中的谐振频率偏移的函数；和，使用所述电气连接件与所述加热器进行通信的控制器；控制器配置为：确定所述光环形谐振器的初始谐振频率；基于所述初始谐振频率和目标谐振频率确定预定电气参数的子集，使所述加热器中在所述子集处运行；并且，使用所述电气连接件对所述加热器应用所述预定电气参数的对应子集，以将所述光环形谐振器的谐振频率从初始谐振频率偏移到目标谐振频率。