[发明专利]一种紫外胶光栅的制作方法有效
| 申请号： | 201710133514.8 | 申请日： | 2017-03-08 |
| 公开（公告）号： | CN106680922B | 公开（公告）日： | 2019-03-12 |
| 发明（设计）人： | 梁万国;李广伟;张新汉;陈怀熹;缪龙;冯新凯;邹小林 | 申请（专利权）人： | 福建中科晶创光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G02B5/18 | 分类号： | G02B5/18 |
| 代理公司： | 福州科扬专利事务所 35001 | 代理人： | 罗立君 |
| 地址： | 350100 福建省福州市闽侯县上街镇科技东路中*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种紫外胶光栅的制作方法，包括以下依序进行的步骤：S1：采用全息技术制得玻璃基底的母光栅；S2：在母光栅上镀膜沉积金属膜层，调整镀膜速率为15nm/min，镀膜时间为6min，然后将0.5ml紫外固化胶均匀涂布在镀膜后的母光栅上形成紫外固化胶层，取一片清洁干净的6mm的子光栅基片，盖在紫外固化胶层上，并轻轻按压，将多余的紫外固化胶排出，待紫外固化胶不再排出时，进行紫外固化，调整紫外线光源的功率为1mW，控制固化时间为2小时；S3：将母光栅和子光栅基片进行分离，形成带有金属膜层以及紫外固化胶层的子光栅基片；S4：将分离后的子光栅基片放入离子束刻蚀装置中，调整离子源产生离子束流与刻蚀机载片台之间的角度为85～95°，调整刻蚀速率为15nm/min，刻蚀时间为6min。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 紫外 光栅 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种紫外胶光栅的制作方法，包括以下依序进行的步骤：S1：采用全息技术制得玻璃基底的母光栅(7)；S2：在母光栅(7)上镀膜沉积金属膜层(8)，调整镀膜速率为15nm/min，镀膜时间为6min，镀膜结束后，然后将0.5ml紫外固化胶均匀涂布在镀膜后的母光栅(7)上形成紫外固化胶层(10)，取一片清洁干净的6mm的子光栅基片(9)，盖在紫外固化胶层(10)上，并轻轻按压，将多余的紫外固化胶排出，待紫外胶不再排出时，进行紫外固化，调整紫外线光源(21)的功率为1mW，控制固化时间为2小时；S3：紫外固化结束后，将母光栅(7)和子光栅基片(9)进行分离，形成带有金属膜层(8)以及紫外固化胶层(10)的子光栅基片(9)；S4：将分离后的子光栅基片(9)放入离子束刻蚀装置(4)中，调整离子源(46)产生离子束流与刻蚀机载片台(48)之间的角度为85～95°，调整刻蚀速率为15nm/min，刻蚀时间为6min；在步骤S2中，采用紫外胶固化装置(2)在母光栅(7)上镀膜沉积金属膜层(8)，所述紫外胶固化装置(2)包括紫外线光源(21)以及位于紫外线光源(21)下方的固化机构(22)；所述固化机构(22)包括固设在传输带(5)上的载物平台(222)以及导向条(223)，所述载物平台(222)滑动设置在导向条(223)上；所述导向条(223)两侧紧贴载物平台(222)两侧固定设置有柔性刮胶条(2221)。
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