[发明专利]一种腔外可控的真空气体靶装置在审
申请号: | 201710128022.X | 申请日: | 2017-03-06 |
公开(公告)号: | CN106841261A | 公开(公告)日: | 2017-06-13 |
发明(设计)人: | 何林李;尉鹏飞;王艳伟;李士本;段艳敏;朱海永;于永丽 | 申请(专利权)人: | 温州大学 |
主分类号: | G01N23/22 | 分类号: | G01N23/22 |
代理公司: | 浙江永鼎律师事务所33233 | 代理人: | 陆永强 |
地址: | 325000 浙江省温州市瓯海区东*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 一种腔外可控的真空气体靶装置,属于检测装置技术领域。本发明利用了活塞和直线平移台的组合来实现气体靶长度的精密可调,利用了导气管和微调阀的组合来实现气体靶气压的精密可控,利用了可伸缩波纹管的伸缩性和导气管的延伸性来实现真空环境的位移操作。同时本发明构造简单,调控方便,且成本低廉,可适用于社会生产或科学实验中,需要利用光与气态物质在真空环境下相互作用的工程领域。 | ||
搜索关键词: | 一种 可控 真空 气体 装置 | ||
【主权项】:
一种腔外可控的真空气体靶装置,包括气腔,气腔为中空的圆柱直通管,其特征在于所述气腔的左端塞有左活塞,气腔的右端塞有右活塞,所述左活塞的端部连有左可伸缩波纹管,所述左可伸缩波纹管的端部连有左三通管,所述左三通管的左端设有入射窗,所述左三通管的下端连有左外置三通管,所述左外置三通管的下端连有变径转接口,所述变径转接口的另一端连有真空计,所述右活塞的端部连有右可伸缩波纹管,所述右可伸缩波纹管的端部连有右三通管,所述右三通管的右端设有出射窗,所述右三通管的下端连有右外置三通管,所述右外置三通管的下端连有挡板阀,所述挡板阀的另一端连有真空泵,所述左外置三通管和右外置三通管之间通过链接波纹管连通,所述三通管、可伸缩波纹管、外置三通管和链接波纹管相连,形成一个内部完全连通的真空腔体,所述活塞的底部设有固定支架卡槽,所述固定支架卡槽内设有固定支架,所述固定支架的另一端连有直线平移台,所述直线平移台的底部连有底座,直线平移台与底座之间采用滑动连接。
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