[发明专利]一种腔外可控的真空气体靶装置

权利要求书

1.一种腔外可控的真空气体靶装置，包括气腔，气腔为中空的圆柱直通管，其特征在于所述气腔的左端塞有左活塞，气腔的右端塞有右活塞，所述左活塞的端部连有左可伸缩波纹管，所述左可伸缩波纹管的端部连有左三通管，所述左三通管的左端设有入射窗，所述左三通管的下端连有左外置三通管，所述左外置三通管的下端连有变径转接口，所述变径转接口的另一端连有真空计，所述右活塞的端部连有右可伸缩波纹管，所述右可伸缩波纹管的端部连有右三通管，所述右三通管的右端设有出射窗，所述右三通管的下端连有右外置三通管，所述右外置三通管的下端连有挡板阀，所述挡板阀的另一端连有真空泵，所述左外置三通管和右外置三通管之间通过链接波纹管连通，所述三通管、可伸缩波纹管、外置三通管和链接波纹管相连，形成一个内部完全连通的真空腔体，所述活塞的底部设有固定支架卡槽，所述固定支架卡槽内设有固定支架，所述固定支架的另一端连有直线平移台，所述直线平移台的底部连有底座，直线平移台与底座之间采用滑动连接。

2.根据权利要求1所述一种腔外可控的真空气体靶装置，其特征在于所述活塞呈圆柱体，由推拉主体、密封窗口和窗口压板构成，密封窗口设置在推拉主体和窗口压板之间，所述推拉主体内部中空，中空结构呈圆锥形，所述推拉主体上设有密封圈卡槽，密封圈卡槽内放置密封O型圈，所述推拉主体的顶部设有窗口密封卡槽和螺栓孔，所述窗口压板内部中空，窗口压板通过窗口密封卡槽和螺栓与所述推拉主体紧密相连。

3.根据权利要求1所述一种腔外可控的真空气体靶装置，其特征在于所述气腔上设有接入口，所述接入口连有导气管，所述导气管的另一端连有储气瓶，储气瓶内装有气体，所述导气管上还设有微调阀和气压计。

4.根据权利要求1所述一种腔外可控的真空气体靶装置，其特征在于所述气腔上设有气腔固紧支架。

5.根据权利要求1所述一种腔外可控的真空气体靶装置，其特征在于所述三通管、可伸缩波纹管、外置三通管、链接波纹管和挡板阀的接口均采用KF40真空法兰标准接口，各个接口之间采用密封O型圈和卡箍进行固紧密封。

6.根据权利要求1所述一种腔外可控的真空气体靶装置，其特征在于所述气腔的材料为透明的有机玻璃。

7.根据权利要求1所述一种腔外可控的真空气体靶装置，其特征在于所述直线平移台上设有若干螺栓孔，所述固定支架通过螺栓与直线平移台螺接。