[发明专利]用于有机发光二极管的沉积装置有效
| 申请号： | 201710122375.9 | 申请日： | 2017-03-02 |
| 公开（公告）号： | CN107151782B | 公开（公告）日： | 2019-12-03 |
| 发明（设计）人： | 柳在光;金钟宪 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/50;H01L51/56 |
| 代理公司： | 11227 北京集佳知识产权代理有限公司 | 代理人： | 蔡胜有;谭天<国际申请>=<国际公布>= |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于有机发光二极管的沉积装置，其能够防止大块玻璃由于重力而下垂。沉积装置使得玻璃能够在其向上凸起地弯曲的状态下从平面静电吸盘的中心部朝向其边缘部粘附到平面静电吸盘的下表面，从而防止由玻璃的下垂量引起的掩模变形。此外，沉积装置使得玻璃和掩模能够快速对准，因为在玻璃尽可能靠近掩模而不接触之后，通过测量设置在其上的各个对准标记使玻璃与掩模彼此粘附。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 有机 发光二极管 沉积 装置 | ||
【主权项】：
1.一种用于有机发光二极管的沉积装置，包括：/n支承单元，所述支承单元配置成支承装载在其上的用于所述有机发光二极管的基板的下表面的边缘部，所述支承单元设置在真空室内，能够竖直地移动或旋转；/n施压单元，所述施压单元配置成对所述支承单元上的所述基板的上表面的相反边缘部施加压力，使得所述基板的中心部向上凸起地弯曲；/n静电吸盘，所述静电吸盘设置成能够在所述基板上方竖直地移动以吸引所述基板；以及/n具有设定的沉积图案的掩模，所述掩模被固定在所述基板下方；以及/n所述支承单元包括倾斜部，使得所述支承单元的上表面的高度从所述基板的边缘部朝向所述基板的中心部逐渐增加。/n
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