[发明专利]用于有机发光二极管的沉积装置

说明书

本发明公开了一种用于有机发光二极管的沉积装置，其能够防止大块玻璃由于重力而下垂。沉积装置使得玻璃能够在其向上凸起地弯曲的状态下从平面静电吸盘的中心部朝向其边缘部粘附到平面静电吸盘的下表面，从而防止由玻璃的下垂量引起的掩模变形。此外，沉积装置使得玻璃和掩模能够快速对准，因为在玻璃尽可能靠近掩模而不接触之后，通过测量设置在其上的各个对准标记使玻璃与掩模彼此粘附。

相关申请的交叉引用

本申请要求于2016年3月3日提交的韩国专利申请第10-2016-0025401号的权益，其全部内容通过引用并入本文如同在本文中完全阐述一样。

技术领域

本发明涉及一种用于有机发光二极管的沉积装置，更具体地，涉及一种如下的用于有机发光二极管的沉积装置：其中有机发光二极管的基板与靶相关地设置以使得沉积材料能够以向上沉积的方式沉积在基板的下表面上。

背景技术

随着信息时代的到来，在视觉上显示电传输的信息信号的显示器领域正在迅速发展。因此，对更薄更轻并且消耗更少功率的各种平板显示装置的开发的研究持续进行。

这种平板显示装置的代表性示例可以包括液晶显示(LCD)装置、等离子体显示面板(PDP)装置、场发射显示(FED)装置、电致发光显示(ELD)装置、电润湿显示(EWD)装置和有机发光显示(OLED)装置。

这些平板显示装置通常需要平面显示面板来实现图像。这样的平面显示面板被配置成使得一对基板彼此面对结合的形式，其具有介于其间的特定的发光材料或偏振器材料。

其中，有机发光显示(OLED)装置是利用作为自发光元件的有机发光二极管来显示图像的装置。

与其他平板显示装置相比，这种有机发光显示装置理想地产生有限量的热量。此外，由于其自发光的优点，在工业中对有机发光显示装置的需求正在增加。在制造有机发光显示装置的方法中，加热其中存储有机材料的坩埚，使得蒸发的有机材料以薄膜的形式沉积在玻璃片上。

此时，形成在其上的具有预定图案的掩模位于玻璃与坩埚之间，有机材料可以通过该掩模选择性地通过。有机材料与掩模的图案一致地沉积在玻璃上。在韩国专利注册第351822号中公开了利用掩模制造有机发光显示器的方法。

然而，随着玻璃片变得更大时，当玻璃由于重力而下垂并因此与掩模接触时，可能发生掩模的变形。因此，需要有效措施以使玻璃与掩模接触而不引起掩模的变形。

此外，因为玻璃下垂的量和掩模下垂的量不同，所以需要花费大量的时间和费用来使它们精确地对准，并且不同的下垂量会劣化接触的均匀性，这可能因为瑕疵点(spot)增加缺陷率。

发明内容

因此，本发明涉及一种基本上消除了由于现有技术的限制和缺点而引起的一个或更多个问题的用于有机发光二极管的沉积装置。

本发明的一个目的是提供如下的用于有机发光二极管的沉积装置：其中基板(例如，玻璃板(片))与平面静电吸盘紧密接触，以便在与掩模接触之前附着到该平面静电吸盘上然后在没有发生下垂的状态下再次附着到掩模并且与掩模对准。

本发明的另外的优点、目的和特征的一部分阐述于下面的描述中，而一部分对本领域普通技术人员而言，当对下述进行考察时是显见的，或者可以从本发明的实践中获知本发明的另外的优点、目的和特征。通过在书面描述及其权利要求以及附图中所具体指出的结构可实现和得到本发明的目的和其他优点。